Labor & Anlagen
TU Dortmund Typ: Reaktives Ionenätzen (RIE) Beschreibung: Chlorprozesse: SF 6 , Cl 2 , CHF 4 , SiCl 4 , N2; Fluorprozesse:SF 6 , O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll funktionsfähig Oxford PlasmaLab 80Plus [...] Strukturweiten bis 0,6 um auf 4 Zoll-Substrat Status: Voll funktionsfähig Suess Microtec MA4 Bitte Bildnachweis einfügen Typ: Optisches Belichtungssystem Beschreibung: Strukturweiten bis 0,6 um auf 4 Zoll-Substrat [...] Cryogenic Probe Station, Heliumkompressor, Beryllium DC probe Tips Status: Voll funktionsfähig Everbeing BD-6 Probestation © MNE / TU Dortmund Typ: RF-Waferprober Beschreibung: HF Messung bis 40GHz, Temperatur …