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LWT
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Forschung
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Forschungsbereiche
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PVD-Technologien
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Ausstattung
Interatom PVD 20
Saugleistung: 75 m³ / Endvakuum: 1x10 -3 mbar Diffusionspumpe: Saugleistung: 3000 lt/s / Endvakuum: 1x10 -7 mbar Verdampfer: 3 Stück, 4 Einbaulagen (3 an den Wänden, 1 im Deckel) Energieversorgung: 27 [...] – 100 V Pulsbereich bis 1000 V, 100 A Frequenz: 0,1 bis 50 kHz Pulsbreite: 0,01 bis 99,99 % Drehantrieb: mittig im Kammerboden, Drehzahl 0 - 10,5 min -1 Reaktivgase: Stickstoff (N 2 ), Acetylen (C 2 H 2 …