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Abgeschlossene Projekte
Projekt_Mehrkomponentige_Sputtermaterialien
, bestehend aus nanokristallinen Körnern (nc-(Al, Cr)N), welche in einer amorphen Matrix (a-Si 3 N 4 ) eingebettet sind. Ziel ist es, durch eine Dotierung mit Wolfram bzw. Tantal, die Mechanismen zur …