-
LWT
-
Lehrstuhl
-
Team
-
PVD-Technologien
Projekt_Mehrkomponentige_Sputtermaterialien
, bestehend aus nanokristallinen Körnern (nc-(Al, Cr)N), welche in einer amorphen Matrix (a-Si 3 N 4 ) eingebettet sind. Ziel ist es, durch eine Dotierung mit Wolfram bzw. Tantal, die Mechanismen zur …