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PVD-Technologien
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Ausstattung
CemeCon CC800_9 Custom
keramischen Dünnschichten sowie amorphen Kohlenstoffschichten. Technische Daten Kammermaße: 850 x 850 x 1.000 mm³ Nutzbarer Beschichtungsraum: Durchmesser: 400 mm Höhe: 400 mm Beladung des Substrattisches: [...] Stickstoff (N 2 ), Acetylen (C 2 H 2 ), Sauerstoff (O 2 ) Heizung: 2 x Seitenheizsysteme mit max. 8,8 kW 1 x Mittelheizung mit max. 15 kW Prozesstemperaturen: max. 500 °C …