Labor & Anlagen
Microtec MA4 © LS MNE / TU Dortmund Hersteller/Typ: Optisches Belichtungssystem Beschreibung: Strukturweiten bis 0,6 um auf 4 Zoll-Substrat Status: Voll funktionsfähig Suess Microtec MA4 Bitte Bildnachweis [...] SPS gestützte Sonderanfertigung Beschreibung: O 2 , N 2 , Ar, Cl 2 , SiCl 4 , H 2 , N 2 O, CF 4 , CHF 3 , SF 6 , NH 3 , SiH 4 /Ar, SiH 2 Cl 2 Status: Voll funktionsfähig Purita GmbH Reinstwasseranlage [...] RM3000 © LS MNE / TU Dortmund Typ: 4-Spitzen-Messplatz Beschreibung: Flächenwiderstandsmessung auf Probenstücken und Wafern Status: Voll funktionsfähig Karl Suess SOM 4 © LS MNE / TU Dortmund Typ: Spi …