Labor & Anlagen
Typ: SPS gestützte Sonderanfertigung Beschreibung: O 2 , N 2 , Ar, Cl 2 , SiCl 4 , H 2 , N 2 O, CF 4 , CHF 3 , SF 6 , NH 3 , SiH 4 /Ar, SiH 2 Cl 2 Status: Voll funktionsfähig Purita GmbH Reinstwasseranlage [...] Reaktives Ionenätzen (RIE) Beschreibung: Chlorprozesse: SF 6 , Cl 2 , CHF 4 , SiCl 4 , N2; Fluorprozesse:SF 6 , O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll funktionsfähig Oxford PlasmaLab 80Plus © LS MNE / TU [...] funktionsfähig Von Ardenne LS500 © LS MNE / TU Dortmund Typ: Reaktive (N 2 + O 2 ) Magnetron-Sputteranlage (DC/HF) mit Plasus 2-Kanal Plasma-Emissionsmonitor (PEM) im Bereich von 200...1100nm Beschreibung: …