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LWT
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Forschung
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Forschungsbereiche
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PVD-Technologien
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Ausstattung
Interatom PVD 20
1x10 -3 mbar Diffusionspumpe: Saugleistung: 3000 lt/s / Endvakuum: 1x10 -7 mbar Verdampfer: 3 Stück, 4 Einbaulagen (3 an den Wänden, 1 im Deckel) Energieversorgung: 27 - 40 V; 35 - 100 A einstellbar Puls …